装置の稼働情報
先端技術共同研究施設（先端研）では，以下の日程で本館クリーンルーム改修工事を実施します．工事期間中，ご利用の皆様にはご不便，ご迷惑をおかけしますが，安全確保および施設環境改善のため，ご理解とご協力よろしくお願いいたします．尚，先端研クリーンルーム外にある装置は，改修工事期間中もご利用いただけます．
期間：2027年3月〜2028年3月／工事範囲：先端研クリーンルーム，機械室
仮移設装置
| 装置番号 | 装置名・メーカー・型式 | 仮移設場所 | 仮移設・調整期間 |
|---|---|---|---|
| NU-205 |
3元マグネトロンスパッタ装置 島津製作所 HSR-522 |
先端技術共同研究施設 コアファシリティ室 |
2027年3月 |
| NU-206 |
電子線描画装置 日本電子 JBX-6300FS |
ベンチャービジネスラボラトリー クリーンルーム |
2027年3月～5月 |
| NU-220 |
小型微細形状測定機一式 小坂製作所 ET200 |
先端技術共同研究施設 コアファシリティ室 |
2027年3月 |
| NU-260 |
マスクレス露光装置 ネオアーク PALET DDB-701-DL4 |
IB電子情報館南棟1階 151クリーンルーム |
2027年3月 |
| NU-269 |
イオンビームエッチング装置 伯東 10IBE-EPD-SS |
IB電子情報館南棟1階 151クリーンルーム |
2027年3月～4月 |
稼働停止装置
| 装置番号 | 装置名・メーカー・型式 |
|---|---|
| NU-201 |
イオン注入装置 日新電機 NH-20SR-WMH |
| NU-202 |
急速加熱処理装置 AG Associates Heatpulse 610 |
| NU-208 |
マスクアライナ Suss Micro Tec AG MA-6 |
| NU-209 |
ICPエッチング装置一式 サムコ RIE-800 |
| NU-210 |
ダイシングソー装置 ディスコ DAD522 |
| NU-216 |
スプレーコーター サンメイ DC110 |
| NU-218 |
電気炉 光洋リンドバーグ MODEL272-2 |
| NU-219 |
酸化・拡散炉 光洋リンドバーグ MODEL270-M100 |
| NU-221 |
プラズマCVD装置 サムコ PD-240 |
| NU-267 |
RIEエッチング装置 サムコ RIE-10NR |
