名古屋大学設備・機器共用推進室「ナノテクノロジー・プラットフォーム」は微細加工プラットフォーム・微細構造解析プラットフォーム・分子物質合成プラットフォームの３つの総合サイトです。

微細加工プラットフォーム

先端技術共同研究施設

　本施設には，合計426m2のクリーンルームがあり，各種の成膜装置，イオン注入装置，電気炉，RIE装置など，薄膜プロセスやデバイス作製プロセスに必要な機器，また電子線描画装置，マスクアライナ，レジスト塗布用スピナーなど，電子線・フォトリソグラフィに必要な機器が設置されています。さらに，一般棟には，薄膜X線回折装置，X線光電子分光装置，原子間力走査顕微鏡が備えられており，ナノ材料，ナノデバイスの分析・評価を行うことができます。

プラズマナノ工学研究センター

　本施設には，40機を超える先端プラズマ装置が設置され、大学、公的研究機関、民間企業との多様な共同研究を遂行しています。プラズマ装置の多くは、オリジナル設計による世界唯一の設備であり、世界最高峰の最先端プラズマプロセスに関する研究・開発が可能です。

ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー（VBL）

　本施設の200m2の広さのクリーンルームには、分子線エピタキシー，電子ビーム蒸着，ICPエッチング，RIEエッチングなどの成膜装置，プロセス装置に加え，レーザ描画装置，フォトリソグラフィ装置など微細加工用の装置などが設置されています｡また，クリーンルーム外には，電界放出型の操作電子顕微鏡も備えています｡

 

微細構造解析プラットフォーム

超高圧電子顕微鏡施設

　ガス中でのその場観察が可能な1000ｋVの超高圧反応科学電子顕微鏡をはじめとする最先端の電子顕微鏡群を設置して,金属,セラミックス,有機薄膜などの結晶構造解析,元素分析,電子状態解析,微小電磁場解析,３次元観察像構築,生体試料の形態学的・分子生物学的研究を支援いたします。また,電子顕微鏡観察用の試料作製装置群により,観察試料の作製段階から支援いたします。データの解析,実験の進め方などについて担当教員がコンサルティングを行います。

分子・物質合成プラットフォーム

工学研究科1号館

　応用化学系の研究室のある工学部1号館に，分子・物質合成プラットフォームの事務局の他，登録装置であるNMRをはじめ各種プローブ顕微鏡，電子顕微鏡，分光測定器，X線構造解析装置，質量分析装置等のほとんどが集約されています(一部の装置は，機器分析室，革新ナノバイオデバイス研究センター，等にもあります)。最新の超解像光学顕微鏡システムでは，STED，STORM，SIM，PALMモードにて測定が可能です。幅広い化学，材料分析の他，ナノバイオ分子・材料評価，キラリティ評価，高分子薄膜構造評価などノウハウも含めて支援いたします。