• 円形断面を有する3次元マイクロ流体ネットワーク
  • Siナノプローブを有するマイクロツール
  • V字加工したSi基板上に配向成長したカーボンナノチューブのSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • サブ100nm幅・高アスペクト有機トレンチ加工の実施例
  • 垂直成長ナノグラフェン「カーボンナノウォール」の合成例
  • Si製無痛針アレイ
  • 再帰性反射ミラー
  • GMR素子を利用したマイクロ磁気センサ
  • Co/Pt多層膜ナノドットの磁区像

「微細加工プラットフォーム」支援事業は「マテリアル先端リサーチインフラ」(Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan: ARIM)事業に引き継がれました。

 微細加工プラットフォームにて共用機器をご利用頂いた方々は引き続きマテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)事業(2022年度〜2032年度)にて引き続き共用支援致します。 マテリアル先端リサーチインフラ事業についてはこちらをご参照下さい。


「マテリアルズ・インフォマティクス基礎から応用 チュートリアル連続セミナー開催について」 
(令和4年11月17日) 

Python と Jupyter によるマテリアルズ・インフォマティクス(MI)のチュートリアル連続セミナーを開催します。簡単な物質例を使って、MI に必要なデータ解学の基礎知識から簡単な応用までを「習うより慣れろ」を方針として解説します。

講師紹介: 木野 日織 博士(理学)
国立研究開発法人 物質・材料研究機構 主幹研究員
東京大学大学院理学系研究科博士課程卒、東京大学物性 研究所物性理論部門助手などを経て、2015年に始まったJSTイノベーションハブ構築支援事業の一環である(国)物質・材料研究機構に情報統合型物質・材料開発イニシアティブ発足時から MI 研究を行う。

 ■日時:12月7日以降の 毎週水曜日(12月28日、2023年1月4日を除く) 全6回(予定)
     13:30〜14:30(Zoomオンラインウェビナー利用) 参加費無料
 ■お申込み等、詳しくはこちら ⇒イベント・講習会
  (後日 YouTube のチャンネルにて編集したものを公開予定です)


薄膜形成からナノ構造・ナノデバイス作製まで総合支援

 名古屋大学は,ナノテクノロジーに関連する広範な技術領域およびそれらに必要となる各種材料群(半導体材料,磁性体材料,誘電体材料,セラミックス系材料,有機系材料など)に対して,最先端の薄膜形成技術,リソグラフィー技術,プラズマエッチング技術を保有しており,ナノ材料形成,ナノ構造形成,ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます。具体的には,クリーンルーム等の施設におけるスパッタリングや分子線エピタキシーによる薄膜の形成,フォトリソグラフィや電子線リソグラフィによる微細加工,イオン注入や反応性エッチング装置によるナノプロセス,光電子分光,原子間力顕微鏡,薄膜X線回折による表面分析や構造解析など,多様な装置群の利用とノウハウの提供によって,新規ナノ材料,ナノプロセス,ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します。

 本事業では,下記の技術および支援を行います。
○ ナノスケール/マイクロスケール微細パターン形成技術
○ ナノ配線・ナノ電極形成技術
○ ナノドット・ナノ構造等の配列技術
○ プラズマを用いた各種材料のエッチングおよび表面処理技術
○ 各種電子・光デバイス構造作製技術
○ MEMS・NEMS構造作製技術
○ 各種材料(半導体材料,磁性材料,金属材料,有機材料, 無機材料など)の薄膜形成技術