• 円形断面を有する3次元マイクロ流体ネットワーク
  • Siナノプローブを有するマイクロツール
  • V字加工したSi基板上に配向成長したカーボンナノチューブのSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • サブ100nm幅・高アスペクト有機トレンチ加工の実施例
  • 垂直成長ナノグラフェン「カーボンナノウォール」の合成例
  • Si製無痛針アレイ
  • 再帰性反射ミラー
  • GMR素子を利用したマイクロ磁気センサ
  • Co/Pt多層膜ナノドットの磁区像

ARIMデータセット試験提供開始のお知らせ (令和6年2月13日)

 ARIM加工・プロセスデバイス分野(名古屋大学)では、データの共用に向けた データ登録のためのサイトをご案内しております。 詳しくはこちら


「微細加工プラットフォーム」支援事業は「マテリアル先端リサーチインフラ」(Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan: ARIM)事業に引き継がれました。

 微細加工プラットフォームにて共用機器をご利用頂いた方々は引き続きマテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)事業(2022年度〜2032年度)にて引き続き共用支援致します。 マテリアル先端リサーチインフラ事業についてはこちらをご参照下さい。



薄膜形成からナノ構造・ナノデバイス作製まで総合支援

 名古屋大学は,ナノテクノロジーに関連する広範な技術領域およびそれらに必要となる各種材料群(半導体材料,磁性体材料,誘電体材料,セラミックス系材料,有機系材料など)に対して,最先端の薄膜形成技術,リソグラフィー技術,プラズマエッチング技術を保有しており,ナノ材料形成,ナノ構造形成,ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます。具体的には,クリーンルーム等の施設におけるスパッタリングや分子線エピタキシーによる薄膜の形成,フォトリソグラフィや電子線リソグラフィによる微細加工,イオン注入や反応性エッチング装置によるナノプロセス,光電子分光,原子間力顕微鏡,薄膜X線回折による表面分析や構造解析など,多様な装置群の利用とノウハウの提供によって,新規ナノ材料,ナノプロセス,ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します。

 本事業では,下記の技術および支援を行います。
○ ナノスケール/マイクロスケール微細パターン形成技術
○ ナノ配線・ナノ電極形成技術
○ ナノドット・ナノ構造等の配列技術
○ プラズマを用いた各種材料のエッチングおよび表面処理技術
○ 各種電子・光デバイス構造作製技術
○ MEMS・NEMS構造作製技術
○ 各種材料(半導体材料,磁性材料,金属材料,有機材料, 無機材料など)の薄膜形成技術