• 円形断面を有する3次元マイクロ流体ネットワーク
  • Siナノプローブを有するマイクロツール
  • V字加工したSi基板上に配向成長したカーボンナノチューブのSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • Si基板上に形成したひずみGe/SiGe微細柱状構造のSEM像
  • サブ100nm幅・高アスペクト有機トレンチ加工の実施例
  • 垂直成長ナノグラフェン「カーボンナノウォール」の合成例
  • Si製無痛針アレイ
  • 再帰性反射ミラー
  • GMR素子を利用したマイクロ磁気センサ
  • Co/Pt多層膜ナノドットの磁区像

「新型コロナウイルス感染症における共同利用設備の利用制限の変更について」(令和2年5月29日)

 新型コロナウイルス感染症拡大にともない,4月17日以降,本学の活動指針に従い,施設内の機器利用を一時停止しておりましたが,本学活動指針の見直しが行なわれました.これに従い,6月1日以降の微細加工プラットフォームの利用制限を以下のように一部緩和いたします.

【学内利用者】引き続き機器利用可.
【学外利用者】機器利用可.なお,感染リスクの高い地域および感染リスクの高い地域を経由する利用者を除く.

利用制限は一部緩和されますが,引き続き徹底した感染防止対策を実施するため,本学共用施設のご利用に際しては各施設の感染防止対策に従って頂きますようお願い申し上げます.
 来学が困難な学外利用者のための技術代行支援も再開いたします.なお,本学教職員は引き続き在宅勤務が推奨されているため,職員の出勤できる範囲での対応となりますこと,ご了承下さい.詳しくは微細加工プラットフォーム事務局までお問い合わせ下さい.

「新型コロナウイルス感染症における共同利用設備の利用制限の変更について」(令和2年5月18日)

 新型コロナウイルス感染症拡大にともない,4月17日より学内,学外問わず施設内の機器共同利用を一時停止しておりましたが,5月15日に本学警戒カテゴリーが「B: 高度警戒」となったことから,利用制限を緩和し,学内利用者への機器共同利用をお認めすることと致しました.今回の利用制限の変更は5月31日までの予定です.なお,引き続き徹底した感染防止対策を実施するため,機器共同利用に際しては各施設の感染防止対策に従って頂きますようお願い申し上げます.
 本学への学外者の入構規制は継続されております.このため,学外の方の機器利用は今回の制限変更の影響を見ながら6月以降に再度検討いたします.また,技術代行についても職員の在宅勤務が推奨されている状況ですので,今しばらくお待ち下さいますようお願いいたします.

「新型コロナウイルス感染症における共同利用設備の利用一時停止について」(令和2年4月17日)

 名古屋大学の微細加工プラットフォームはこれまで,感染症拡大を防ぐための対策を徹底した上で支援事業を実施しておりました.しかしながら,新型コロナウイルス感染症における名古屋大学の警戒カテゴリーが「B: 高度警戒」から「C: 緊急事態」に移行されたことに伴い,最小限の研究活動・研究資源維持のため必要な教員以外は入構自粛となりました.微細加工プラットフォームの支援事業は「最小限の研究活動」とは見なせないことから,学内,学外問わずプラットフォーム登録設備利用を一時停止することと致しました.一時停止期間の変更の可能性もありますので,ご承知おき下さいますようお願い申し上げます.

薄膜形成からナノ構造・ナノデバイス作製まで総合支援

 名古屋大学は,ナノテクノロジーに関連する広範な技術領域およびそれらに必要となる各種材料群(半導体材料,磁性体材料,誘電体材料,セラミックス系材料,有機系材料など)に対して,最先端の薄膜形成技術,リソグラフィー技術,プラズマエッチング技術を保有しており,ナノ材料形成,ナノ構造形成,ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます。具体的には,クリーンルーム等の施設におけるスパッタリングや分子線エピタキシーによる薄膜の形成,フォトリソグラフィや電子線リソグラフィによる微細加工,イオン注入や反応性エッチング装置によるナノプロセス,光電子分光,原子間力顕微鏡,薄膜X線回折による表面分析や構造解析など,多様な装置群の利用とノウハウの提供によって,新規ナノ材料,ナノプロセス,ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します。

 本事業では,下記の技術および支援を行います。
○ ナノスケール/マイクロスケール微細パターン形成技術
○ ナノ配線・ナノ電極形成技術
○ ナノドット・ナノ構造等の配列技術
○ プラズマを用いた各種材料のエッチングおよび表面処理技術
○ 各種電子・光デバイス構造作製技術
○ MEMS・NEMS構造作製技術
○ 各種材料(半導体材料,磁性材料,金属材料,有機材料, 無機材料など)の薄膜形成技術