支援内容

名古屋大学は，ナノテクノロジーに関連する広範な技術領域およびそれらに必要となる各種材料群（半導体材料，磁性体材料，誘電体材料，セラミックス系材料，有機系材料など）に対して，最先端の薄膜形成技術，リソグラフィー技術，プラズマエッチング技術を保有しており，ナノ材料形成、ナノ構造形成、ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます．以下は支援内容の一例ですが，詳しくは以下の問い合わせ先へご連絡下さい．支援の流れについてはご利用方法をご覧下さい．

お問い合わせ先：

〒464-8603 名古屋市千種区不老町 名古屋大学 未来材料・システム研究所 加藤研究室内 ARIM名古屋大学（微細加工）事務局 Tel. 052-789-3639 Fax. 052-789-3153 e-mail: infonanofab.engg.nagoya-u.ac.jp