ご利用方法

　本事業は文部科学省委託事業「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業」のハブ機関：名古屋大学の加工・デバイスプロセス分野として，ナノテクノロジー関連の装置の利用とノウハウの提供によって，新規ナノ材料，ナノプロセス，ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します．大学，公的研究機関だけでなく，民間企業の方もご利用頂けます．

　マテリアル先端リサーチインフラ事業では装置共用で創出されるマテリアルデータを構造化し，収集・蓄積を行います。 

支援の形態

　本事業の支援は大きく委託事業と自主事業に区分されます．どのような支援形態が適当かなど不明点がある場合は本実施機関までお問い合わせ下さい．秘密保持契約（NDA），共同研究契約なども名古屋大学の規定に基づいて締結することができます．詳しくは本実施機関までお問い合わせ下さい．

委託事業

　委託事業は成果を公開することを原則とします．なお，特許出願や論文投稿などのため，成果の公開を2年程度延期することが可能です．以下の5つの支援形態があります．これらの支援形態において，本事業共用機器をご利用頂く利用者は，本事業における施設利用許可条件にご同意いただく必要があります．

　委託事業には，本施設を利用した際に創出されるデータを登録するデータ登録型支援と，データを登録しないデータ未登録支援があります．データ登録／未登録では利用料金が異なります．登録されるデータは登録者，利用者が再利用しやすい形に構造化されます．データ登録後2年間は登録者のみが閲覧できる非共用の状態となり，その後，本事業のデータ利用支援で検索・閲覧・編集などの二次利用が可能となる広域シェアへ移行します．データ登録型支援の利用者はARIM名古屋大学データ登録約款にご同意頂く必要があります．

技術相談：	本実施機関のスタッフが利用者の技術的質問に対して問題解決のための提案を行います．なお，本実施機関で対応が難しい場合，他の実施機関をご紹介することもあります．
機器利用：	本実施機関が提供する装置を利用し，実験を行うもので，スタッフは研究内容にタッチせず，独立性の高い支援です．装置の操作は利用者自身が行いますが，希望に応じ各装置に精通したスタッフが利用トレーニングを行います．なお，装置利用時のトラブル等はスタッフが随時対応します．
技術代行：	遠方で来所できない，装置の操作に自信がないなどのため，微細加工，ナノプロセス，試料評価などを本機関スタッフに代行してもらう技術支援です．利用者は可能な限りスタッフと実験を行って頂きます．なお，利用者の希望する結果が得られない可能性があることをご了解下さい．
技術補助：	利用者は操作方法などについて，技術スタッフの補助を受けながら機器を利用します．利用者が装置操作に習熟し，自身で操作が行える段階になったら，機器利用に移行します．
共同研究：	利用者と本実施機関のスタッフが共同で研究を行います．研究の準備段階から成果発表までスタッフとともに行います．新しい微細加工手法・計測手法の開発などを行うこともできます．
データ利用：	本事業により構造化後，収集・蓄積されたデータを利活用できるデータ駆動型研究開発支援です．データ駆動型研究で進展の著しい機械学習などにも，煩わしい前処理などをせずにすぐにご利用いただけます．

自主事業

　民間企業の利用者などで成果非公開を希望される場合，マテリアル先端リサーチインフラ事業とは別に，本実施機関独自の設備共用の申し込みをすることができます．詳細は本実施機関までお問い合わせ下さい．

支援開始までの流れ

　一般的な支援開始までの流れは，利用相談，利用申込，利用審査，支援実施（データ登録），成果報告提出となります．利用相談は無料ですのでお気軽にお電話，メール下さい．「こんなことをしたいのだが．．．」など漠然とした内容でも結構です．本実施機関の適切なスタッフ，または適切な他実施機関等を紹介いたします．

様式：	利用申込書 　（装置番号は装置一覧をご参照下さい．） 成果報告書（例）
お問い合わせ先：	ARIM名古屋大学（微細加工）事務局　052-789-3639 e-mail: infonanofab.engg.nagoya-u.ac.jp

利用料金

　本事業では必要経費の一部をご負担頂く意味で利用料金を設定させていただいています．装置利用の際の時間当たりの利用料は装置一覧をご覧下さい．データ登録／未登録では利用料金が異なります．なお，成果占有を希望する自主事業でも料金設定が異なります．詳しくは本実施機関までお問い合わせ下さい．