名古屋大学設備・機器共用推進室「ナノテクノロジー・プラットフォーム」は微細加工プラットフォーム・微細構造解析プラットフォーム・分子物質合成プラットフォームの３つの総合サイトです。

3つの事業分野

支援内容SUPPORT

 

微細加工プラットフォーム

　微細加工プラットフォームは、各種材料群（半導体材料、磁性体材料、誘電体材料、セラミックス系材料、有機系材料など）に対して、最先端の薄膜形成技術、リソグラフィー技術、プラズマエッチング技術を保有しており，ナノ材料形成、ナノ構造形成、ナノデバイス形成などさまざまな支援を行うことができます。具体的には，スパッタリングや分子線エピタキシーによる薄膜の形成，フォトリソグラフィや電子線リソグラフィによる微細加工，イオン注入や反応性エッチング装置によるナノプロセス，光電子分光，原子間力顕微鏡，薄膜X線回折による表面分析や構造解析など，多様な装置群の活用とノウハウの提供によって，新規ナノ材料，ナノプロセス，ナノデバイスの研究開発を幅広く支援します。

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微細構造解析プラットフォーム

　微細構造解析プラットフォームでは、「超高圧反応科学走査透過電子頭微鏡」をはじめとする最先端の電子顕微鏡群を用いて、金属、セラミックス、有機薄膜などの結晶構造解析、元素分析、電子状態解析、微小電磁場解析を観察用試料の作製から支援します。また、低温ステージを搭載した電子顕微鏡による生体試料の形態学的、および、分子生物学的研究を支援します。データの解析、実験の進め方などについて担当教員がコンサルティングを行う体制を整えています。

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分子・物質合成プラットフォーム

　分子・物質合成プラットフォームでは、「自己組織化ナノ超構造」、「組織化されたソフトマテリアル」、「有機・高分子キラリティー制御およびセンシング」、「医療診断・治療・予防のためのナノバイオ分子物質」における、分子・高分子合成から、分子組織化技術、ナノ構造解析技術、デバイス化までの幅広い支援をノウハウとともに提供いたします。これらにより、「グリーン」および「ライフ」イノベーション創出を加速させるとともに、実用化・産業化を促進いたします。

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