データ登録の手順
ARIM事業（データ登録）につきましては、必ずデータ登録案内ページを一読ください。データ登録前のご準備
| DICE登録 | 装置を使用される方は皆様、データ登録のためのユーザー登録（DICE登録）を行ってください。利用申請後2週間以内、装置ご利用日までに登録をお願いします。 DICE登録についてのご説明はこちら |
データ登録へ
データ登録に必要なファイル
① データ登録マニュアルをダウンロードしてください。
② 以下、登録ファイル一覧の「装置別 登録案内」より、登録ファイルの説明書をダウンロードします。
③ ProcessDataLog(PDL)を登録する装置は、「登録ファイル」より、該当する装置のPDLファイルをダウンロードします。
複数ファイルを作成する場合は、複製してご利用ください。（ファイル名は変更頂いて結構です）
④ 可能な限り、装置ご利用の都度、ご登録をお願いいたします。（1か月以内にご登録ください）
装置別登録ファイル一覧(R6.12.13現在)
| 装置番号 | 装置別 登録案内 | 登録ファイル | 添付ファイル (必須ではありません) |
|---|---|---|---|
| NU-201 | イオン注入装置 (日新電機 NH-20SR-WMH) |
・PDL (NU-201)
※必須 ・注入後の試料画像 |
他装置での評価結果等 |
| NU-202 | 急速加熱処理装置 (AG Associates Heatpulse 610) |
・PDL（NU-202）
※必須 ・熱処理後の試料画像等 |
他装置での評価結果等 |
| NU-204 | 原子間力顕微鏡 (Bruker AXS Dimension3100) |
・.000.001等（3桁の数字の拡張子） ※必須 |
.jpg,.tiffファイル等エクスポートファイル |
| NU-205 | 3元マグネトロンスパッタ装置 (島津製作所 HSR-522) |
・PDL (NU-205)
※必須 ・成膜時の基板配置の撮影画像など |
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| NU-206 | 電子線露光装置 (日本電子 JBX6300FS) | ・PDL (NU-206)
※必須 ・描画時の基板配置の撮影画像等 |
描画データファイル等 |
| NU-213 | 8元マグネトロンスパッタ装置 (自作) | ・PDL (NU-213)
※必須 ・成膜後の試料画像等 |
|
| NU-214 | 8元MBE装置 (自作) | ・PDL (NU-214)
※必須 ・成膜時の基板配置の撮影画像等 |
|
| NU-221 | プラズマCVD装置 (サムコ PD-240) | ・PDL（NU-221）
※必須 ・成膜時の基板配置の撮影画像等 |
|
| NU-222 | レーザー描画装置 (Heidelberg Instruments DWL66FS) |
・PDL (NU-222)
※必須 ・描画後の試料画像等 |
描画用の.dxf等 |
| NU-223 | フォトリソグラフィ装置群 (共和理研 K310P100S) |
・PDL (NU-223)
※必須 ・露光後の試料写真 |
フォトマスクの.dxf等 |
| NU-224 | 電子ビーム蒸着装置 (アルバック EBX-10D) |
・PDL (NU-224)
※必須 ・成膜時の基板配置の撮影画像等 |
|
| NU-225 | ICPエッチング装置 (アルバック CE-300I) |
・PDL (NU-225)
※必須 ・エッチング後の試料写真 |
|
| NU-226 | RIEエッチング装置 (サムコ RIE-10NR) |
・PDL (NU-226)
※必須 ・エッチング後の試料写真 |
|
| NU-227 | 走査型電子顕微鏡 (日立ハイテクフィールディング S5200) |
①撮像ファイル（.jpg, .bmp, .png） ※必須 ② 測定パラメータに関する.txtファイル(撮像されたファイル名と同じ) ※必須 |
|
| NU-228 | 走査型電子顕微鏡 (日立ハイテクフィールディング S4300) |
①撮像ファイル（.jpg, .bmp, .png） ※必須 ② 測定パラメータに関する.txtファイル(撮像されたファイル名と同じ) ※必須 |
|
| NU-231 | マスクレス露光装置 (ナノシステムソリューションズ DL-1000) |
・PDL (NU-231)
※必須 ・描画後の試料写真 |
描画用の.dxf等 |
| NU-234 | ICPエッチング装置 (サムコ RIE-200iPN) |
・PDL (NU-234)
※必須 ・エッチング後の試料写真 |
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| NU-259(2) | 振動試料型磁力計 (玉川製作所 TM-VSM271483-HGC) |
・.VSMファイル （補正した場合は補正後のファイル） ※必須 |
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| NU-260 | マスクレス露光装置 (ネオアーク PALETDDB-701-DL) |
・PDL (NU-260)
※必須 ・描画後の試料写真 |
描画用の.dxf等 |
| NU-263 | 高分解能走査型電子顕微鏡
(日本電子JSM-IT800SHL) |
SEM:①撮像ファイル（.jpg, .jpeg, .bmp, .png , .tif）
②測定パラメータに関する.txtファイル
①②必須です EDS:① 各元素マッピングデータの.csvファイル ②Map Sum Spectrumの.txtファイル①②必須です |
|
| NU-264 | 原子間力顕微鏡
(パーク・システムズ NX20) |
年度内登録開始予定 | |
| NU-265 | 物性特性測定装置
(日本カンタムデザイン DynaCool-12T) |
年度内登録開始予定 | |
| NU-266 | 全自動X線回折装置 |
・2θ/ωスキャン → .ras (rasxをsmartLabのPCで変換)
※必須 ・2Dイメージ → .img ※必須 |
装置から排出される その他のファイル |
| NU-267 | RIEエッチング装置 |
・PDL（NU-267） ※必須 ・エッチング後の試料写真 |