データ登録の手順

ARIM事業（データ登録）につきましては、必ずデータ登録案内ページを一読ください。

データ登録前のご準備

DICE登録 装置を使用される方は皆様、データ登録のためのユーザー登録（DICE登録）を行ってください。利用申請後1週間以内、装置ご利用日までに登録をお願いします。
DICE登録についてのご説明はこちら
　　
1.DICE登録の情報をメールでご連絡頂いた後、名大データスタッフが、課題番号毎に研究チーム、またご利用装置毎にデータセットを作成します。（研究チーム・データセットの説明はこちら）
2.研究チームの作成、データセットのご準備が整いましたらメールにてご連絡いたします。
（現在データ登録が可能な装置はページ下の一覧を参照ください）

データ登録に必要なファイル

　　　
①データ登録マニュアルをダウンロード。
②以下の「装置別 登録案内」より、登録ファイルについての説明をダウンロード。
③ProcessDataLog(PDL)を登録する装置は、「登録ファイル」より、該当する装置のPDLファイルをダウンロード。 複数ファイルを作成する場合は、複製してご利用ください。（ファイル名は変更頂いて結構です）
※　装置ご利用の都度、ご登録をお願いいたします。（1か月以内にご登録ください）

装置別登録ファイル一覧(R7.6.3現在)

装置番号 装置別 登録案内 登録ファイル 添付ファイル
(必須ではありません)
NU-201 イオン注入装置
(日新電機 NH-20SR-WMH)		 ・PDL (NU-201) ※必須
・注入後の試料画像		 他装置での評価結果等 
NU-202 急速加熱処理装置
(AG Associates Heatpulse 610) 		・PDL（NU-202） ※必須
・熱処理後の試料画像等		 他装置での評価結果等
NU-204 原子間力顕微鏡
(Bruker AXS Dimension3100)		 ・.000.001等（3桁の数字の拡張子）
※必須
 .jpg,.tiffファイル等エクスポートファイル
NU-205 3元マグネトロンスパッタ装置
(島津製作所 HSR-522)		 ・PDL (NU-205) ※必須
・成膜時の基板配置の撮影画像など
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NU-209 ICPエッチング装置
(サムコ RIE-800)		 ・PDL (NU-209) ※必須
・エッチング後の試料写真		 描画データファイル等
NU-213 8元マグネトロンスパッタ装置　(自作) ・PDL (NU-213) ※必須
・成膜後の試料画像等
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NU-214 8元MBE装置　(自作) ・PDL (NU-214) ※必須
・成膜時の基板配置の撮影画像等
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NU-218 電気炉(光洋リンドバーグ社製 MODEL272-2) ・PDL (NU-218) ※必須
・成膜時の基板配置の撮影画像等
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NU-221 プラズマCVD装置　(サムコ PD-240) ・PDL（NU-221） ※必須
・成膜時の基板配置の撮影画像等
ー
NU-222 レーザー描画装置
(Heidelberg Instruments DWL66FS)		 ・PDL (NU-222) ※必須
・描画後の試料画像等 		描画用の.dxf等
NU-223 フォトリソグラフィ装置群
(共和理研 K310P100S)		 ・PDL (NU-223) ※必須
・露光後の試料写真		 フォトマスクの.dxf等
NU-224 電子ビーム蒸着装置
(アルバック EBX-10D)		 ・PDL (NU-224) ※必須
・成膜時の基板配置の撮影画像等
ー
NU-225 ICPエッチング装置
(アルバック CE-300I)		 ・PDL (NU-225) ※必須
・エッチング後の試料写真
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NU-226 RIEエッチング装置
(サムコ RIE-10NR)		 ・PDL (NU-226) ※必須
・エッチング後の試料写真
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NU-227 走査型電子顕微鏡
(日立ハイテクフィールディング S5200)		 ①撮像ファイル（.jpg, .bmp, .png）
② 測定パラメータに関する.txtファイル(撮像されたファイル名と同じ)
※①②の同時登録が必須
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NU-228 走査型電子顕微鏡
(日立ハイテクフィールディング S4300)		 ①撮像ファイル（.jpg, .bmp, .png）
② 測定パラメータに関する.txtファイル(撮像されたファイル名と同じ)
※①②の同時登録が必須
ー
NU-231 マスクレス露光装置
(ナノシステムソリューションズ DL-1000)		 ・PDL (NU-231) ※必須
・描画後の試料写真 		描画用の.dxf等
NU-234 ICPエッチング装置
(サムコ RIE-200iPN)		 ・PDL (NU-234) ※必須
・エッチング後の試料写真
ー
NU-236 In-situ 電子スピン共鳴（ESR）
Bruker EMX Premium X		 ①.parファイル
②.ascファイル
※①②の同時登録が必須
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NU-245 スパッタリング装置
(キヤノンアネルバ　E-200S)		 ・PDL (NU-245) ※必須
・エッチング後の試料写真
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NU-248 パリレンコーティング装置
(KISCO DACS-LAB)		 ・PDL (NU-248) ※必須
ー
NU-257 露光プロセス装置 一式
(ユニオン光学　PEM800)		 ・PDL (NU-257) ※必須
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NU-259(2) 振動試料型磁力計
(玉川製作所 TM-VSM271483-HGC)		 ・.VSMファイル
（補正した場合は補正後のファイル）
　※必須
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NU-259(3) トルク磁力計
(東英工業　TRT-2)		 ・.trtファイル 　※必須
（補正した場合は補正後のファイル）
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NU-259(4) 磁気光学スペクトロメータ
(自作)		 ・.txtファイル 　※必須
（補正した場合は補正後のファイル）
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NU-260 マスクレス露光装置
(ネオアーク PALETDDB-701-DL)		 ・PDL (NU-260) ※必須
・描画後の試料写真		 描画用の.dxf等
NU-263 高分解能走査型電子顕微鏡
(日本電子JSM-IT800SHL)		 SEM:①撮像ファイル（.jpg, .jpeg, .bmp, .png , .tif） ②測定パラメータに関する.txtファイル ①②の同時登録が必須です
EDS:① 各元素マッピングデータの.csvファイル ②Map Sum Spectrumの.txtファイル①②の同時登録が必須です
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NU-264 原子間力顕微鏡
(パーク・システムズ NX20)		 年度内登録開始予定
NU-265 物性特性測定装置
(日本カンタムデザイン DynaCool-12T)		 年度内登録開始予定
NU-266

全自動X線回折装置
(リガク SmartLab 9kW)

 ・2θ/ωスキャン → .ras (rasxをsmartLabのPCで変換) ※必須
・2Dイメージ　 → .img ※必須
 装置から排出される その他のファイル
NU-267

RIEエッチング装置
(サムコ RIE-10NR)

 ・PDL（NU-267） ※必須
・エッチング後の試料写真
ー